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中芯國際完成12寸晶圓千萬片次量產

2016/12/12
中芯國際北京公司擁有國內唯一一條實現持續盈利的12英寸集成電路生產線。該生產線上所使用的幾十臺國產設備,與眾多進口設備一起,新近完成了12英寸晶圓千萬片次的量產。這是記者從昨天舉行的專題座談會上了解到的。

集成電路俗稱芯片,是高端制造業的核心。近年來,我國每年集成電路產品進口金額超過石油。在普及率極高的智能手機行業,包括CPU、存儲器、各類感應元器件等,基本依賴進口。

2008年以來,國家通過極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項——“02專項”的實施,推動集成電路國產裝備的開發和產業化,把目標直接定位在世界上最先進的65納米、40納米、28納米技術節點上,并由行業的龍頭企業來牽頭。

中芯國際是內地規模最大、技術最先進的集成電路制造企業。其位于亦莊的北京公司,與國內集成電路設備制造商成立了“產學研”聯合開發實驗室,共同面對設備要求高、系統復雜、每兩年更新一代、市場基本被美歐日幾家廠商壟斷的局面。

在裝備設計上,以往,廠商自己在實驗室里閉門造車,造出一個“鐵箱子”,然后搬到工廠里去,不行再搬回來改;現在要預先知道生產的具體要求是什么,隨時改進,共同開發。

對芯片生產企業來說,原來是購買進口設備,維修和調試都由外國公司承包,進度和質量有合同保證,心理負擔小;現在要使用國產設備,攻關小組邊干邊學,責任全在自己身上,不但要保證進度,更要保證交到終端客戶手里的產品質量不出任何問題。

在國家重大科技專項的支持下,國內集成電路代工廠與設備制造企業實現對接,為國產設備在中國集成電路產業鏈中的大面積應用打開了局面,為國產設備企業走向世界奠定了基礎。國產設備終于能夠與國外同類產品進行技術比較和價格比拼,這提升了國產設備在產業鏈中的重要性,為中國企業破除設備采購壁壘,降低采購成本,做出了巨大貢獻。

在中芯國際北京公司,眾多專業制造芯片的設備供應商云集。國內企業就有北方微電子、中科信、中微半導體、沈陽拓荊、七星華創、華海清科、京儀自動化、沈陽科儀等。他們在其擅長的工藝領域突破了國外同類產品壟斷的局面,逐漸形成自主知識產權的核心技術。

尤其是北方微電子公司,成功開發了以刻蝕設備(ETCH)、化學氣相沉積設備(CVD)、物理氣相沉積設備(PVD)三大類半導體裝備產品為基礎的20余類產品。他們從實際生產需求出發,由用戶方發起需求,進行定制化研發和制造,開發出適合實際需要的國產化設備,最后達到批量采購的結果。其部分產品在關鍵工藝技術上達到了國際水平,已正式進入海外主流芯片企業生產線。

出席今天座談會的北京經濟技術開發區投資促進局局長王延衛介紹,亦莊已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業在內的完備的集成電路產業鏈。亦莊集成電路產業規模占全北京市的一半,率先在國內建成首條12英寸集成電路生產線,確立了北京在全國產業布局中的領先地位。

開發區將重點選擇一批產業基礎較好、支撐國家信息安全需要的關鍵產品進行重點突破,包括移動通信芯片、存儲器芯片、驅動芯片、傳感器芯片四大類主要產品。到2025年,將開發區打造成為全球領先的,先進新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領域的研發制造中心,成為中國集成電路產業的核心區與承載地。
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